会社のニュース 超高圧環境における信頼性向上：0%気孔率技術によるアウトガス制御の分析

超高真空（UHV）および極高真空（XHV）システムの設計において、アウトガスは究極の真空レベルを維持する上での主要な障害です。揮発性物質のわずかな放出でも、プラズマ不安定性を引き起こしたり、精密な光学コーティングを汚染したりする可能性があります。「ゼロポロシティ」技術における独自の進歩により、Macor® マシナブルガラスセラミック

は、セラミックの性能と極めて低いアウトガス率のバランスをとった理想的な材料を真空技術者に提供します。

1. 物理的メカニズム：多孔性が真空性能を決定する方法

• 微視的なレベルでは、ほとんどの工業材料は完全に高密度ではありません。トラッピング効果

• ：従来のセラミックやポリマーには、水分子、炭化水素、大気ガスを「トラップ」するミクロンサイズの細孔が含まれていることがよくあります。アウトガスプロセス

• ：ポンピング中に、これらの閉じ込められたガスはマイクロチャネルを通ってゆっくりと表面に拡散し、チャンバー内に放出されて、持続的な「仮想リーク」を引き起こします。Macor® の進歩：ガラスマトリックス内に高結晶性のフルオロフロゴパイト雲母薄片を精密に統合することにより、Macor® は0% の多孔性

を実現します。これは、ガス閉じ込め用の内部空間がないことを意味し、バルクアウトガスのリスクを根本的に排除します。

2. 主要なパラメトリック証拠：データ駆動型の真空信頼性

• B2B の材料選択では、真空適合性は技術的パラメーターによって検証される必要があります。UHV 条件における Macor® の性能は、以下のデータによって裏付けられています。ゼロポロシティ（0%）

• ：透過性や閉じ込めがなく、UHV 圧力への迅速な低下を促進します。ヘリウム透過率（<n class="math-inline" data-index-in-node="22" data-math="10^{-10}" style="line-height: 1.15 !important; margin-top: 0px !important;">$10^{-10}$ cc/秒)：高真空エンクロージャーおよび検出器に優れた気密シールを提供します。

• ベーキング耐久性（800℃）

• ：構造的劣化なしに表面吸着物を除去するための積極的な高温ベーキングサイクルを可能にします。化学的安定性