シルコニア材料の部品

ジルコニア材料部品

微孔セラミックスとは、内部または表面に多数の微細な孔（一般的にマイクロメートルレベル、またはサブマイクロメートルレベルの孔径）を含むセラミックスを指します。均一なサイズのナノパウダーから特殊なプロセスを経て作られた微孔セラミックプレートは、均一な孔分布、相互接続された孔、高い気孔率、優れた透過性、強酸・強塩基への耐性、および非常に安定した化学的特性を示します。研磨後、表面は滑らかで平坦になります。

当社は長年の技術経験と、その特性に対する深い理解を有しています。製造された微孔セラミック真空吸着パッドは、高い平坦性を特徴とし、吸着力は0.002～0.005mmに達し、強力で均一であり、長寿命です。これらは半導体産業の製造プロセスにおいて不可欠で理想的なツールであり、薄化、ダイシング、洗浄、ハンドリングなど、多くのプロセスで広く使用されています。また、印刷、レーザー切断、PCB、フレキシブルディスプレイ、薄膜吸着、機械ハンドリング用のロボットアームなどの用途にも使用されています。

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