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商品の詳細:
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| ハイライト: | 工業用セラミックチャック,工業用セラミックチャック,高性能セラミックチャック |
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工業用セラミックチャック
半導体分野では、長年の発展を経てウェーハの薄型化とダイシングが比較的成熟しており、ウェーハ薄型化装置もますます洗練されています。セラミックチャックは、ウェーハ加工時のロード用治具として使用されます。セラミックチャックの吸着面は、空気と水を通す多孔質セラミックでできており、一方、セラミックチャックの外輪は、真空を維持するために緻密で不浸透性のアルミナセラミックで密閉されており、優れた耐荷重性と吸着能力を提供します。
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品質管理:
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