AIN セラミックヒーター テクニカル セラミックパーツ 暖房システムのアップグレード エネルギー節約

AIN セラミックヒーター

アルミナイトリドは,高熱伝導性と電熱隔離を必要とするシナリオで最も一般的に使用される多機能材料です.この 独特 な 能力 に よっ て,AIN は 急速 な 熱 化 と 熱 散布 に 理想 的 な 選択 に なり ますアルミナイトライドセラミックヒーター,アルミナイトライドセラミックウェッファー・トレイ/セラミックチャックテーブルなど

適用する

半導体:ESC,エッチ,CVD,磨き機
医療機器:加熱と原子化
他の: 急速な加熱速度と良好な温度均一性を要求する他のシナリオで使用されます.

熱伝導性:アルミナセラミックの10倍. 急速な加熱速度:環境温度の25.cで6秒以内に600.Cに達する. 良好な温度均一性:温度差が ±5 の範囲内である.
強度:質感強度310〜350MPa.硬さ:HRA89.体積抵抗:> 1013O.cm.
安定性:アルミナイトリド陶器の溶融点は2450°Cで,2000度以内の高温非酸化環境で良好な安定性があります.
絶好の電解常数と低電解損失