純 BN99 ボロンナトリド リング 熱圧 アルミナトリド プレート

純 BN99 ボロンナトリド リング 熱圧 アルミナトリド プレート

熱圧ボロンナイトライドリングの標準製品と パーソナライズド製品を提供しています. 純粋なBN99リングを除いて,我々はまた,シリコンカービード,カルシウムボラート,アルミナイトリドとジルコニア純粋なBN99とジルコニア複合材料ZSBNのボロンナイトリドの仕様を確認してください.

材料の特性:

主な用途:

• 半導体機器の部品

• プレート,ウェーファー,リング,ガス配送プレート,ノズル
• トップ・ノズルやバフル,脚台式ヒーター,カバー・プレート
• RF 窓,クレージュブル

• 基板
• 耐熱基材

主要な特徴と仕様

• 熱圧技術を使用する
• 直径650mmまで
• 毛孔度が非常に低い
• 高熱伝導性
• 超耐化学性
• 網状のシンタリングを可能にするために直接シンタリング

製造プロセス:

品質管理: