調整可能なガスの原子化ボロンナイトリドセラミック部品

ガス原子化 ボロンナイトリド セラミック部品

ボロンナイトリドは六角系に属する.その構造はグラフィットに似ている.その性質も似ている.したがって"白色グラフィット"とも呼ばれている.熱耐性も良い.,熱安定性,熱伝導性,高温介電強度があり,理想的な熱消耗材料と高温隔熱材料です.モース硬さ 2 は,様々な形状の部品に加工することができます.

主な用途:

• 半導体機器の部品
  プレート,ウェーファー,リング,ガス配送プレート,ノズル
  トップ・ノズルやバフル,脚台式ヒーター,カバー・プレート
  RF 窓,クレージュブル
• 基板
• 耐熱基材

主要な特徴と仕様:

• 熱圧技術を使用する
• 直径650mmまで
• 毛孔度が非常に低い
• 高熱伝導性
• 超耐化学性
• 網状のシンタリングを可能にするために直接シンタリング
   

材料の特性:

製造プロセス:

品質管理:

基本技術: