コルセード 電気伝導性セラミックス ハンドリング・アーム

コルセード,電気伝導性セラミックスハンドリングアーム

これはASUZACが開発した電気伝導性セラミクです.コルセードが導電性であるため,導電性コーティングを施す必要がないため,そのまま使用できます.金属と比べると,コーセードは化学的耐性が優れていて,強さと精度を要する部品に使用できます.

材料の特性:

製造プロセス:

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  導電性

  優れた電導性は,ESDによる損傷を防止します.コーティングは必要ありません.つまり,粒子を発生させる剥離を心配する必要はありません.
  *ESD: 静電放電

   

  品質管理:

   

   

   

  品質管理

  

   

  

   

   

   

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  化学耐性

  塩化水素,硫黄酸,水性フッ素酸などの化学物質が使用されている環境で使用できます.

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  硬さ: Hv9

  シリコンウエファーとコルセードとの間の硬度差によって引き起こされる磨き粒子と接触損傷を減少させる.